明場光學缺陷檢測設備——BriteSD 300

BriteSD系列是睿勵科學儀器(上海)有限公司在2023年最新推出的明場光學圖形晶圓缺陷檢測設備。
該系列適用于集成電路制造、化合物半導體等領域的缺陷檢測，可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等，具備晶圓全表面檢測、自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復查功能，運用睿勵自主開發(fā)的先進光學系統(tǒng)和多種獨特的算法，可以應用于檢測更小的缺陷。

主要特點：

l 支持8/12吋wafer

l?明場檢測
l?支持硅片、SiC片檢測
l?支持Auto Review 功能
l?可多組倍鏡切換:1X、2X、5X、20X、50X