BriteSD系列是睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司在2023年最新推出的明場光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備。
該系列適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域的缺陷檢測，可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等，具備晶圓全表面檢測、自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能，運用睿勵自主開發(fā)的先進光學(xué)系統(tǒng)和多種獨特的算法，可以應(yīng)用于檢測更小的缺陷。
主要特點：
l 支持8/12吋wafer?
l 明場檢
WSD系列產(chǎn)品是睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司自主研發(fā)、生產(chǎn)的全自動晶圓外觀缺陷檢測設(shè)備。設(shè)備的基本檢測原理是利用光學(xué)系統(tǒng)成像、通過圖像分析的方式來捕抓并分類各種晶圓表面的缺陷。
該系列產(chǎn)品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號產(chǎn)品，適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
主要特點：
l 支持6/8/12吋wafer
l ?可定制化兼容Frame產(chǎn)品
l ?支持透明/非透明襯底片檢測
l ?可檢
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